半导体设备制造商在视觉开发领域面临多重挑战:图像算法研发投入不足、图形绘制与用户交互性开发难度大、国外视觉算法库成本高和技术支持匮乏,以及算法库接口碎片化问题。这些问题制约了设备性能提升和用户体验优化,并增加了开发成本与维护难度。为应对这些挑战,制造商需创新开发流程,降低成本,提升技术支持,简化算法集成,并在市场竞争中提供更优产品和服务。正是在此背景下,研华VisionNavi/Semi Tool——专为半导体行业设计的视觉算法应运而生。
• 寻边检测:专为晶圆制造中的来料检测设计,能够精准定位晶圆中心位置,为后续的加工步骤提供准确的起点。
• 芯片定位与排序算法:通过高精度的晶粒匹配和晶圆对准技术,软件能够有效剔除重叠区域晶粒及双胞等异常晶粒,确保晶圆处理过程中的准确性和一致性。
• WaferMap:软件以显示控件的形式提供全面的晶圆Map图生产、存储、显示绘制功能,包括对晶圆上的Die进行访问和数量统计,为晶圆制造过程中的质量控制和追踪提供了直观的工具,实现算法的可视化。
VisionNavi/Semi Tool好比给机器装上了一双慧眼,但仅有视觉功能而缺乏运动控制,无法满足设备的整体系统控制需求。为此,研华不仅提供了先进的视觉算法,还搭配了一系列运动控制产品,以满足不同客户的特定需求。
考虑到客户的多样化使用习惯,研华在运动控制领域推出了丰富多样的产品。在Codesys系统方面,推出了AMAX-5570和AMAX-5580两款边缘控制器,在高级语言领域,则有AMAX-354和AMAX-357两种EtherCAT运动控制器,为客户根据自身习惯的不同而提供多重选择,来满足半导体不同工艺段的设备开发需求。
此外,研华还针对半导体等垂直行业的具体应用,提供了整合机器视觉与运动控制的完整解决方案,满足半导体工艺中不同阶段对工艺的精确要求。为了持续提升半导体设备的生产效率和精度,研华还提供了深度的控制软件算法客制化服务,帮助客户的产品在性价比上更具优势。
研华的硬件组合方案融合专用算法软件的服务,以适应市场对多样化和个性化的需求。从设备的数据处理、控制到通讯,研华提供了多种形态和组合的平台,以及包括特殊算法开发、底层定制、固件个性化等增值服务,客户可以按自身设备所处环境及条件要求,自由组合搭配。
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